旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)滿足多行業(yè)對(duì)高性能薄膜的制備需求

　　旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)通過高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力將液體物料均勻鋪展于基材表面形成薄膜，憑借涂層均勻性高、厚度可控、操作簡(jiǎn)便的優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、新材料研發(fā)、生物醫(yī)學(xué)、光學(xué)器件等領(lǐng)域，成為制備納米級(jí)至微米級(jí)精密薄膜的核心設(shè)備，滿足多行業(yè)對(duì)高性能薄膜的制備需求。?

　　在半導(dǎo)體與微電子領(lǐng)域，涂膜機(jī)是光刻工藝的關(guān)鍵裝備。半導(dǎo)體芯片制造中，需在硅片表面涂覆均勻的光刻膠薄膜，其均勻性直接影響光刻圖案的分辨率。旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)可通過精準(zhǔn)控制轉(zhuǎn)速、加速時(shí)間與涂膠量，在硅片表面形成均勻性誤差≤2%的光刻膠涂層。例如，在8英寸硅片光刻工藝中，采用3000rpm轉(zhuǎn)速、10秒加速時(shí)間的參數(shù)，可制備厚度100nm的光刻膠薄膜，滿足0.18μm工藝節(jié)點(diǎn)的要求；在柔性電子領(lǐng)域，將導(dǎo)電漿料通過旋涂機(jī)涂覆于聚酰亞胺薄膜上，制備均勻的導(dǎo)電薄膜，用于柔性顯示屏電極。?
 

　　在新材料研發(fā)領(lǐng)域，涂膜機(jī)是薄膜性能研究的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。科研人員利用其制備高分子薄膜、納米復(fù)合薄膜、金屬氧化物薄膜等，研究材料的光學(xué)、電學(xué)、力學(xué)性能。例如，在鈣鈦礦太陽能電池研發(fā)中，通過旋涂機(jī)將鈣鈦礦前驅(qū)體溶液涂覆于ITO玻璃基材上，控制轉(zhuǎn)速與退火溫度制備鈣鈦礦活性層，其厚度與結(jié)晶度直接影響電池轉(zhuǎn)換效率；在鋰電池電極材料研究中，將正極材料漿料旋涂于鋁箔上，制備均勻的電極薄膜，測(cè)試其電化學(xué)性能，為電極材料配方優(yōu)化提供依據(jù)。此外，在功能涂層研發(fā)中，利用旋涂機(jī)制備疏水涂層、抗菌涂層樣品，測(cè)試其表面性能與應(yīng)用效果。?

　　在生物醫(yī)學(xué)與光學(xué)領(lǐng)域，旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適配特種薄膜制備需求。在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，將膠原蛋白、殼聚糖等生物材料溶液通過旋涂機(jī)涂覆于載玻片或金屬支架上，制備生物相容性薄膜，用于細(xì)胞培養(yǎng)或組織工程支架；在光學(xué)器件領(lǐng)域，通過旋涂機(jī)制備光學(xué)增透膜、反射膜，控制薄膜厚度實(shí)現(xiàn)特定波長(zhǎng)的光調(diào)控，應(yīng)用于鏡頭、顯示屏等光學(xué)產(chǎn)品。在高校實(shí)驗(yàn)室，旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)是材料科學(xué)、微電子等專業(yè)的基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)設(shè)備，為學(xué)生開展薄膜制備實(shí)驗(yàn)提供支撐；在第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)，用于制備標(biāo)準(zhǔn)薄膜樣品，開展薄膜性能檢測(cè)與比對(duì)實(shí)驗(yàn)。?